濕度傳感器是基于其功能材料能發生與濕度有關的物理效應或化學反應的基礎上制造的。它有將濕度物理量轉換成電信號的功能，這些功能可以通過與濕度有關的電阻或電容的變化，長度或體積的脹縮以及結型器件或MOS器件的某些電參數的變化，例如PN結擊穿電壓、電流放大系數、反向漏電流、MOS器件的溝道電阻等的變化而得以實現。濕度傳感器的特性參數主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數、響應時間、濕滯回差、感濕特征量一一相對濕度特性曲線等。
濕度敏感器件的濕度溫度系數是表示器件的感濕特性曲線隨環境溫度而變化的特性參數。在不同的環境溫度下，器件的感濕特性曲線是不相同的。顯然，器件感濕特性曲線隨環境溫度的變化越大，由感濕特征量所表示的環境相對濕度與實際上的環境相對濕度之間的誤差就越大。因此，環境溫度的不同直接影響器件的測濕誤差。圖3-3給出了Co34，-TiO2濕度敏感器件的感濕特性曲線隨環境溫度的變化情況。
濕度敏感器件的濕度溫度系數定義為:在器件感濕特征恒定的條件下，該感濕特征量值所表示的環境相對濕度隨環境溫度的變化率。若以w表示器件的濕度溫度系數，則有
其單位為%RH（℃）-1
由期間的濕度溫度系數a值，即可得知期間因環境溫度變化所引起的測濕誤差，例如，器件的a=0.3%RH（℃）-1時，如果環境溫度變化20℃，就將引起6%RH的測濕誤差。
