傳感器內(nèi)，電極的支架除要有一定的機(jī)械強(qiáng)度外還要有穩(wěn)定的性能。因此選用溫度系數(shù)小和幾何尺寸長(zhǎng)期穩(wěn)定性好，并具有高的絕緣電阻、低的吸潮性和高的表面電阻的材料，例如石英、云母、人造寶石及各種陶咨作支架。雖然這些材料較難加工但性能遠(yuǎn)高于塑料、有機(jī)致璃等。在溫度不太高的環(huán)境下，聚四氟乙烯具有良好的絕緣性能，選用時(shí)也可予以考不。
盡量采用空氣或云母等介電常數(shù)的溫度系數(shù)近似為零的電介質(zhì)(也不受濕度變化的影響)作為電容式傳感器的電介質(zhì)。若用某些液體如硅油、煤油等作為電介質(zhì)，當(dāng)環(huán)境溫度、濕度變化時(shí)，它們的介電常數(shù)隨之改變，產(chǎn)生誤差。這種誤差雖可用后接電子線路加以補(bǔ)償(如采用與測(cè)量電橋相并聯(lián)的補(bǔ)償電橋)，但不易完全消除。
在可能的情況下，傳感器內(nèi)盡量采用差動(dòng)對(duì)稱結(jié)構(gòu)，這樣可以通過(guò)某些類型的電子線路(如電橋)來(lái)減小溫度等誤差。
可以用數(shù)學(xué)關(guān)系式來(lái)表達(dá)溫度等變化所產(chǎn)生的誤差，作為設(shè)計(jì)依據(jù)，但比較繁瑣。選用50kHz至幾兆赫作為傳感器的電源頻率，可以降低對(duì)傳感器絕緣部分的絕緣要求。
傳感器內(nèi)所有的零件應(yīng)先進(jìn)行清洗、烘干后再裝配。傳感器要密封以防止水分侵入內(nèi)部而引起電容值變化和絕緣變壞，傳感器的殼體剛性要好，以免安裝時(shí)變形。
