1、輸出阻抗高，負載能力差
電容式傳感器的容量受其電極的幾何尺寸等限制，一般為幾十到幾百皮法，其至只有幾個皮法，使傳感器的輸出阻抗很高，尤其當采用癌烽范圍內的交流電源時，輸出阻抗高達108~106Ω。因此傳感器負載能力差，易受外界干擾影響而產生不穩定現象，嚴重時甚至無法工作，必須采取屏項措施，從而給設計和使用帶來不便。容抗大還要求傳感器絕緣部分的電阻值極高(幾十兆歐以上)，理則絕緣部分將作為勞路電阻而影響儀器的性能(如靈敏度降低)，為此還要特別注意周圍的環境如濕度、清潔度等。若采用高頻供電，可降低傳感器輸出蛆抗，但高頻放大、傳輸遠比低頻的復雜，且寄生電容影響大，不易保證工作十分穩定。
2、寄生電容影響大
電容式傳感器的初始電容量小，而連接傳感炭和電子線路的引線電纜電容(1~2m導線可達800pF)、電子線路的雜散電容以及傳感器內極板與其周圍導體構成的電容等所謂“寄生電容”卻較大，不僅降低了傳感器的靈敏度，而且這些電容(如電纜電容)常常是隨機變化的，將使儀器工作很不穩定，影響測量精度。因此對電纜的選擇、安裝、接法都有要求。
應該指出，隨著材料、工藝、電子技術，特別是集成技術的高速發展，使電容式傳感器的優點得到發揚而缺點不斷地得到克服。電容式傳感器正逐漸成為一種高靈敏度、高精度，在動態、低壓及一些特殊測量方面大有發展前途的傳感器。
