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              壓阻式傳感器的類型與優(yōu)點(diǎn)

                 2019-12-22 十二6809
              核心提示:壓阻式傳感器有兩種類型:一類是利用半導(dǎo)體材料的體電阻支撐粘貼式的應(yīng)變片,做成半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器;另一種是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝支撐擴(kuò)散電阻,作為測量傳感元件


                壓阻式傳感器有兩種類型:一類是利用半導(dǎo)體材料的體電阻支撐粘貼式的應(yīng)變片,做成半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器;另一種是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝支撐擴(kuò)散電阻,作為測量傳感元件,亦稱擴(kuò)散型壓阻式傳感器,或固態(tài)壓阻式傳感器,固態(tài)壓阻式傳感器主要用于測量壓力和加速度等物理量。


                壓阻式傳感器的優(yōu)點(diǎn)是:①靈敏度非常高,有時(shí)傳感器的輸出不需要放大可直接用于測量;②分辨度高,例如測量壓力時(shí)可測出10~20Pa的微壓;③測量元件的有效面積可做的很小,故頻率響應(yīng)高;④可測量低頻加速度與直線加速度,壓阻式傳感器的最大缺點(diǎn)是溫度誤差較大,故需要溫度補(bǔ)償或在恒溫條件下使用。

               
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