直流熱等離子
直流熱等離子技術是目前氟利昂處理方法中最有效和最有發展前景的熱等離子體技術。澳大利亞、法國、日本、美國等都在大力發展該技術，具有代表性的工藝是由東京電力公司、日本鋼鐵公司、日本電子公司及通產省國家資源與環境研究所共同開發的。
澳大利亞的CS1RO公司和SRL Plasm公司也聯合發展了PLASCONTh直流熱等離子技術，但C、CF、CI等副產物殘留以及電極與耐火材料消耗等問題是該技術與其他直流等離子體技術共有的有待解決的重要問題。近期發展起來的高頻電感耦合等離子體(ICP)處理技術克服了其他直流等離子體技術中存在的電極消耗與耐火材料消耗等問題。
高頻ICP具有高頻趨膚效應，CFCs隨載氣進人中心通道，在高溫環狀等離子體作用下熱解，進而與外層支持氣體混合反應。高功率高頻ICP可采用空氣或氧氣為支持氣體，大大減少運行成本，同時大量存在的氧氣可進一步提高消解效率，當應用氫氧混合氣作ICP支持氣體,或應用水汽與CFCs化合物混合消解技術時,CF4和CF3CI等含F殘留有可能得到進一步降低。在輸出等離子體100kw,等離子體溫度在1x10?℃以上的條件下，高頻ICP對CFC-12的消解效率大于99.99%，高于直流等離子體技術(PLASCON)和低頻ICP技術。
雖然高功率高頻ICP在CFCs處理方面有很大的潛力，但在工作參數優化、現場監控等方面還有待進一步深入研究。
放電等離子體處理技術
放電等離子體技術是通過高電壓放電而獲得等離子體的方法.主要有脈沖放電、沿面放電和無聲放電等。它們處理低濃度廢氣時比較有效。不同形式的放電等離子體反應器分解氟利昂的效率不同，例如脈沖放電等離子體反應器處理CFC-113的分解率約為70%，而用高頻波的沿面放電型反應器則相應分解率大于99%。通過高壓放電來產生等離子體存在爆炸等安全隱患。
