熱偶真空計的主要優點為：
(1)結構簡單，制造方便，成本較低；
(2)能測量氣體和蒸氣的全壓強；
(3)能進行連續測量，與自動記錄儀配合，能自動記錄被測真空度；
(4)在使用過程中，如真空系統突然漏氣也不致損壞。
其主要缺點為：
(1)熱慣性較大，一般為幾秒至幾十秒，在被測壓力變化很快時，指示儀表的讀數將滯后于實際壓力；
（2）環境溫度對測量結果有一定影響，測量結果還與氣體種類和成分有關；
(3)隨著加熱絲表面情況的變化，加熱電流也隨之改變，影響測量結果的準確性，
(4)量程不寬，工作特性曲線為非線性。
