真空密封有兩種，一是靠金屬或陶瓷或玻璃與金屬焊接而實現的永久性密封；二是可拆卸的靜密封和動密封。靜密封是用元件連接，密封后保持靜止狀態；動密封就是必須保證既運動又要密封。
可拆卸的真空密封，都要有密封材料夾墊在元件接頭法蘭中間，靠擠壓，緊固實現密封。根據真空度的要求可選擇不同的密封材料。常用的密封材料有：橡膠、聚四氟乙烯、軟金屬的鋁、無氧銅等。
真空脂用于涂在兩個光滑平面之間起真空密封和潤滑作用。真空封蠟用來填補真空系統上的小漏孔。真空封蠟分為真空泥和真空蠟兩類。
表2-19為一些真空密封材料的使用溫度。
