這種泵是用油來保證排氣閥的密封的。泵工作時，利用泵的吸、排氣腔的容積改變以完成吸氣、壓縮和排氣過程。按真空泵的結構又可分為定片式、旋片式、滑閥式、余擺線式和直聯高速旋片式真空泵等。
圖4-3所示為單級旋片真空泵的結構圖。它主要由定子、轉子和旋片組成。轉子偏心地安裝在定子內，轉子槽中裝有兩旋片，兩旋片靠中間的彈簧力和旋轉時的離心力緊貼于泵腔內壁，將泵腔與轉子之間的月牙形空間分成三（或二）部分。從進氣管到旋片分隔的空間稱吸氣空間：兩旋片之間稱為膨脹壓縮空間；與排氣口
相通的部分稱排氣空間。當轉子帶動旋片按箭頭方向旋轉時，吸氣空間容積不斷擴大，被抽容器中的氣體進人吸氣空間。當另一旋片轉至剛好將進氣口封死時，吸氣量達到最大，若旋片繼續旋轉，則被封閉在兩旋片之間的氣體受到壓縮，壓力不斷提高，當壓力超過一定值時，氣體便推開排氣閥將氣體排出。兩旋片如此交替工作，轉子每轉一周，完成兩次吸氣和兩次排氣。排氣閥浸入油中是為了防止大氣返流進入泵內。
單級旋片泵的性能較差，殘余氣體和蒸氣的總壓力為5Pa左右，因此現在國內生產的旋片泵都是雙級的。圖44示出雙級旋片真空泵的結構原理，它由裝在同一泵體內的兩臺泵串聯而成。其極限真空度一般可達10-2Pa。這種泵既可單獨用于真空度較低的系統抽空，也可作為羅茨泵、油增壓泵等的前級泵
（預抽泵）。在冷凍干燥機中，一般作預抽泵使用，也可單獨抽真空用。
