無油機(jī)械真空泵凍干機(jī)和其他被抽容積采用油封機(jī)械泵時(shí)，真空泵腔的油蒸氣就有可能反流至凍干箱，從而污染制品。而以半導(dǎo)體、電子、生物制藥工業(yè)為代表的領(lǐng)域中，其制造工藝迫切要求無油污染的潔凈真空，因而近年來一些國家相繼研制出工作真空在105~0.1Pa范圍內(nèi)的無油機(jī)械真空泵或稱干式泵，以滿足干式工藝的要求。
無油機(jī)械真空泵有非接觸型的羅茨式、爪式、螺桿式和接觸型的葉片式、凸輪式、搖擺活塞式、禍旋式等。醫(yī)藥凍干機(jī)中使用較多的是爪式、羅茨式、搖擺活塞式。
爪式真空泵這種泵采用了形狀復(fù)雜的爪形轉(zhuǎn)子，如圖48和圖49所示。
·兩個爪形轉(zhuǎn)子與泵體之間形成泵腔的抽氣容積，吸氣口和排氣口分別固定在兩側(cè)端蓋的側(cè)面上。兩轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，吸氣口與泵腔接通，泵腔容積由小變大而吸氣：當(dāng)轉(zhuǎn)子關(guān)閉吸氣口時(shí)吸氣結(jié)束，隨后泵腔容積由大變小而壓縮氣體；當(dāng)泵腔容積與排氣口接通時(shí)，泵腔排氣，直到泵腔與排氣口隔斷時(shí)為止，排氣結(jié)束。轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)又重復(fù)上述吸氣、壓縮、排氣過程。
這種泵目前有兩種結(jié)構(gòu)形式：一種是三級爪式轉(zhuǎn)子加一級羅茨式轉(zhuǎn)子構(gòu)成的多級泵，另一種是四級爪式轉(zhuǎn)子串聯(lián)構(gòu)成的多級泵，如圖4-9所示。
羅茨泵和爪式泵的壓縮比如圖410所示。由于爪式泵沿軸向逆流少，故壓縮比在高壓區(qū)較高。
這種泵的吸氣口、排氣口設(shè)置在泵腔的端壁上，多級連接很方便，氣道流暢，泵內(nèi)腔壓力變化平緩，有利于防止可凝性氣體的凝
結(jié)。為了防止可凝性氣體在泵內(nèi)凝結(jié)，需要向泵腔內(nèi)通凈化氣體。
現(xiàn)在的爪式泵極限壓力為1~10Pa，抽速為100一180m3/h。
