電渦流傳感器的等效阻抗Z與被測材料的電阻率 ρ、磁導(dǎo)率 μ、激磁頻率f及線圈與被測件間的距離x有關(guān)。當(dāng) ρ、μ、f確定后Z只與x有關(guān)，通過適當(dāng)?shù)臏y量電路，可得到輸出電壓與位移的關(guān)系，如圖9-28，在曲線中部呈線性關(guān)系，一般其線性范圍為扁平線圈外徑的1/3到1/5處，線性誤差約為3%~4%。
根據(jù)上屬關(guān)系，電渦流傳感器可以測量位移。如汽輪機(jī)主軸的軸向竄動(dòng)(圖9-29a），金屬材料的熱膨脹系數(shù)，鋼水液位等。量程范圍可以從0~1mm到0~30mm，一般分辨率為滿量程的0.1%。
振幅測量
為了用非接觸式方法測量各種振動(dòng)的振幅，如機(jī)床主軸振動(dòng)形狀的測量，可以使用多個(gè)渦流傳感器安置在被測軸附近（9-29b），再用多通道測量儀或記錄儀，便可測出在機(jī)床主軸振動(dòng)時(shí)，瞬時(shí)振動(dòng)分布形狀。
轉(zhuǎn)速測量
在一個(gè)旋轉(zhuǎn)金屬體上安裝一只由N個(gè)齒的齒輪，旁邊安裝電渦流傳感器（9-29c）。當(dāng)旋轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，齒輪的齒與傳感器的距離變小，電感量變小；距離變大，電感量變大。經(jīng)電路處理后將周期的輸出信號，該信號頻率f可以用頻率計(jì)測出，然后換算呈轉(zhuǎn)速n=f/N×60
式中n為被測轉(zhuǎn)速（r/min）
渦流膜厚測量
利用渦流檢測法，能夠檢測金屬表面的氧化膜、漆膜或電鍍膜等膜的厚度。但是，金屬材料的性質(zhì)不同，其膜厚檢測也有很大不同。下面介紹金屬表面氧化膜厚度的測量，它是各種測量方法中較為有效的一種。
氧化層膜厚測定方法如圖9-30所示。假定某金屬表面由氧化膜，則電感傳感器與金屬表面的距離為x；金屬表面渦流對傳感器線圈中磁場的反作用，改變了傳感器的電感量，此時(shí)的電感量為（L0-△L）；當(dāng)金屬表面無氧化層時(shí)，傳感器與其表面距離為x0，對應(yīng)的電感量為L0，那么，該金屬表面的氧化層厚度應(yīng)為（x0-x），該厚度就可以通過電感量的變化而測得。
金屬氧化層的渦流測量可由圖9-31所示的測量電路實(shí)現(xiàn)。在膜厚測量電路中，正弦振蕩器IC1、IC2產(chǎn)生頻率1k~100kHz的正弦波，加在變壓器B1初級上。次級輸出的正弦信號加到橋式電路的輸入端，由該橋路在非平衡狀態(tài)下獲取金屬材料表面的渦流變化，渦流變化量由檢測方法器IC3進(jìn)行適當(dāng)放大，再經(jīng)交流放大器IC4和IC5放大數(shù)十倍后，經(jīng)轉(zhuǎn)換電路將渦流變化量轉(zhuǎn)換為膜厚，最后由指示儀表顯示。圖中W1、W2、W3分別為靈敏度調(diào)整、零點(diǎn)調(diào)整和電平調(diào)節(jié)電位器。
除此之外，還可用電阻率或磁導(dǎo)率的變化對材料進(jìn)行無損傷等測定。
