電渦流傳感器的等效阻抗Z與被測材料的電阻率 ρ、磁導率 μ、激磁頻率f及線圈與被測件間的距離x有關。當 ρ、μ、f確定后Z只與x有關，通過適當的測量電路，可得到輸出電壓與位移的關系，如圖9-28，在曲線中部呈線性關系，一般其線性范圍為扁平線圈外徑的1/3到1/5處，線性誤差約為3%~4%。
根據上屬關系，電渦流傳感器可以測量位移。如汽輪機主軸的軸向竄動(圖9-29a），金屬材料的熱膨脹系數，鋼水液位等。量程范圍可以從0~1mm到0~30mm，一般分辨率為滿量程的0.1%。
振幅測量
為了用非接觸式方法測量各種振動的振幅，如機床主軸振動形狀的測量，可以使用多個渦流傳感器安置在被測軸附近（9-29b），再用多通道測量儀或記錄儀，便可測出在機床主軸振動時，瞬時振動分布形狀。
轉速測量
在一個旋轉金屬體上安裝一只由N個齒的齒輪，旁邊安裝電渦流傳感器（9-29c）。當旋轉體轉動時，齒輪的齒與傳感器的距離變小，電感量變小；距離變大，電感量變大。經電路處理后將周期的輸出信號，該信號頻率f可以用頻率計測出，然后換算呈轉速n=f/N×60
式中n為被測轉速（r/min）
渦流膜厚測量
利用渦流檢測法，能夠檢測金屬表面的氧化膜、漆膜或電鍍膜等膜的厚度。但是，金屬材料的性質不同，其膜厚檢測也有很大不同。下面介紹金屬表面氧化膜厚度的測量，它是各種測量方法中較為有效的一種。
氧化層膜厚測定方法如圖9-30所示。假定某金屬表面由氧化膜，則電感傳感器與金屬表面的距離為x；金屬表面渦流對傳感器線圈中磁場的反作用，改變了傳感器的電感量，此時的電感量為（L0-△L）；當金屬表面無氧化層時，傳感器與其表面距離為x0，對應的電感量為L0，那么，該金屬表面的氧化層厚度應為（x0-x），該厚度就可以通過電感量的變化而測得。
金屬氧化層的渦流測量可由圖9-31所示的測量電路實現。在膜厚測量電路中，正弦振蕩器IC1、IC2產生頻率1k~100kHz的正弦波，加在變壓器B1初級上。次級輸出的正弦信號加到橋式電路的輸入端，由該橋路在非平衡狀態下獲取金屬材料表面的渦流變化，渦流變化量由檢測方法器IC3進行適當放大，再經交流放大器IC4和IC5放大數十倍后，經轉換電路將渦流變化量轉換為膜厚，最后由指示儀表顯示。圖中W1、W2、W3分別為靈敏度調整、零點調整和電平調節電位器。
除此之外，還可用電阻率或磁導率的變化對材料進行無損傷等測定。
