圖9-25所示為透射式渦流厚度傳感器結(jié)構(gòu)原理圖，在被測(cè)金屬的上方設(shè)有發(fā)射傳感器線(xiàn)圈L1,在被測(cè)金屬板下方設(shè)有接收傳感器線(xiàn)圈L2。當(dāng)在L1上加低頻率電壓U1時(shí)，則L1上產(chǎn)生交變磁通Φ1.若兩線(xiàn)圈間無(wú)金屬版，則交變磁場(chǎng)直接耦合至L2中，L2產(chǎn)生感應(yīng)電壓U2。如果將被測(cè)金屬板放入兩線(xiàn)圈之間，則L1線(xiàn)圈產(chǎn)生的磁通將導(dǎo)致在金屬板中產(chǎn)生電渦流，此時(shí)磁場(chǎng)收到損耗，到達(dá)L2的磁通將減弱為Φ1’，從而使L2產(chǎn)生的感應(yīng)電壓U2下降。金屬板越厚，渦流損失就越大，U2電壓就越小。因此，可根據(jù)U2電壓的大小得知被測(cè)金屬板厚度。透射式渦流厚度傳感器檢測(cè)范圍可達(dá)1~100mm，分辨率為0.1μm，線(xiàn)性度為1%。
高頻反射式渦流厚度傳感器
圖9-26為高頻反射式渦流測(cè)厚儀測(cè)試系統(tǒng)原理圖。
為了克服帶材不夠平整或運(yùn)行過(guò)程中上下波動(dòng)的影響，在帶材的上下兩側(cè)對(duì)稱(chēng)的設(shè)置了兩個(gè)特性完全相同的渦流傳感器S1、S2。S1、S2與被測(cè)帶材表面之間的距離分別為x1和x2。若帶材厚度不變，則被測(cè)帶材上下表面之間距離總有“x1+x2=常數(shù)”的關(guān)系存在，兩傳感器的輸出電壓之和為2U。如果被測(cè)帶材厚度該變量為△δ ，則兩傳感器與帶材之間的距離也改變了△δ，此時(shí)兩傳感器輸出電壓為（2U+△U）。△U經(jīng)放大器放大后，通過(guò)指示儀表電路即可表示帶材的厚度變化值。帶材厚度給定值與偏差指示值的代數(shù)和就是被測(cè)帶材的厚度。
電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器
圖9-27所示為電渦流式轉(zhuǎn)速傳感器工作原理圖。在軟磁材料制成的輸入軸上加工一鍵槽，在據(jù)輸入表面d0處設(shè)置電渦流傳感器，輸入軸與被測(cè)旋轉(zhuǎn)軸相連。
當(dāng)被測(cè)旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，輸出軸的距離發(fā)生（d0+△d）的變化。由于電渦流效應(yīng)，這種變化將導(dǎo)致振蕩器的電壓幅值和振蕩頻率。因此，隨著輸入軸的旋轉(zhuǎn)，從振蕩器輸出的信號(hào)中包含與轉(zhuǎn)速成正比的脈沖頻率信號(hào)。該信號(hào)由檢波器檢出電壓幅值的變化量，然后經(jīng)整形電路輸出脈沖頻率信號(hào)fn。該信號(hào)經(jīng)電路處理便可得到被測(cè)轉(zhuǎn)速。
這種轉(zhuǎn)速傳感器可實(shí)現(xiàn)非接觸式測(cè)量，抗污染能力很強(qiáng)，可安裝在旋轉(zhuǎn)軸近旁長(zhǎng)期對(duì)被測(cè)轉(zhuǎn)速進(jìn)行監(jiān)視。傳感器最高測(cè)量轉(zhuǎn)速可達(dá)600000r/min。
