加熱器的作用是將附著在敏感元件表面上的塵埃、油霧等燒掉,加速氣體的吸附,提高其靈敏度和響應(yīng)速度。加熱器的溫度一般控制在200~400℃左右。
加熱方式一般有直熱式和旁熱式兩種,因而形成了直熱式和旁熱式氣敏元件。直熱式將加熱絲直接埋入SnO2、ZnO粉末中燒結(jié)而成,因此,直熱式常用于燒結(jié)型氣敏結(jié)構(gòu),其結(jié)構(gòu)和符號(hào)如圖4 - 21(a) (b)所示。旁熱式是將加熱絲和敏感元件同置于一個(gè)陶瓷管內(nèi),管外配以梳狀金電極做測(cè)量極,在金電極外再涂上SnO2等材料,其結(jié)構(gòu)和符號(hào)如圖4- 21(c) (d) 所示。
直熱式結(jié)構(gòu)氣敏傳感器的優(yōu)點(diǎn)是制造工藝簡(jiǎn)單、成本低、功耗小,可以在高電壓回路中使用。它的缺點(diǎn)是熱容量小,易受環(huán)境氣流的影響,測(cè)量回路和加熱回路 間沒(méi)有隔離而相互影響,國(guó)產(chǎn)QN型和日本費(fèi)加羅TGS# 109型氣敏傳感器均屬于此類(lèi)結(jié)構(gòu)。
旁熱式結(jié)構(gòu)的氣敏傳感器克服了直熱式結(jié)構(gòu)的缺點(diǎn),使測(cè)量極和加熱極分離, 而且加熱絲不與氣敏材料接觸，避免了測(cè)量回路和加熱回路的影響；器件熱容量大，降低了環(huán)境溫度對(duì)器件加熱溫度的影響。所以，這類(lèi)結(jié)構(gòu)器件的穩(wěn)定性、可靠性比直熱式結(jié)構(gòu)的號(hào)，國(guó)產(chǎn)QM-N5型和日本費(fèi)加羅TGS#812、813型氣敏傳感器采用的都是這種結(jié)構(gòu)。
