濕度傳感器的特性參數(shù)——靈敏度

濕度傳感器是基于其功能材料能發(fā)生與濕度有關(guān)的物理效應或化學反應的基礎(chǔ)上制造的。它有將濕度物理量轉(zhuǎn)換成電信號的功能，這些功能可以通過與濕度有關(guān)的電阻或電容的變化，長度或體積的脹縮以及結(jié)型器件或MOS器件的某些電參數(shù)的變化，例如PN結(jié)擊穿電壓、電流放大系數(shù)、反向漏電流、MOS器件的溝道電阻等的變化而得以實現(xiàn)。濕度傳感器的特性參數(shù)主要有:濕度量程、靈敏度、溫度系數(shù)、響應時間、濕滯回差、感濕特征量一一相對濕度特性曲線等。

濕度敏感器件的靈敏度就其物理含義而言，應當反映相對于環(huán)境溫度變化的器件感濕特征量的變化程度，因此，它應當是器件的感濕特性曲線的斜率。在器件感濕特性曲線是直線的情況下，用直線的斜率來表示濕度敏感器件的靈敏度是恰當而可行的。

然而，多數(shù)濕度敏感器件的感濕特性曲線是非線性的，在不同的相對濕度范圍內(nèi)曲線具有不同的斜率，這就造成用濕度敏感器件感濕特性曲線的斜率來表示器件靈敏度的困難。

目前，雖然關(guān)于濕度傳感器靈敏度的表示方法尚未得到統(tǒng)一，但較為普遍采用的方法是用器件在不同環(huán)境濕度下的感濕特征量之比來表示器件靈敏度。例如，日本生產(chǎn)的MgCrO₄-TiO₂濕度敏感器件的靈敏度，用一組器件電阻比R_1%/R_20%、R_1%/R_40%、R_1%/R_60%、R_1%/R_80%、R_1%/R_100%表示，其中R_1%、R_20%、R_40%、R_60%、R_80%、R_100%分別為相對濕1%、20%、40%、60%、80%及100%時器件的電阻值。