傳感器的集成化,可大大提高其工作性能,增強它的可靠性和性價比。目前,基于硅集成工藝的傳感器技術已成為傳感器技術的一個研究熱點,其優點具體如下:
1)性能大大提高
由于采用集成工藝技術,可使傳感器特性均勻、各元件之間配置協調、匹配良好。不需要對其元件進行校正和調整。從而大大提高其整體的性能。
2)可靠性得到提高
傳感器集成化,則整體體積大大縮小,這對消除傳感器結構上的某些不可靠因素起到了很大作用。
3)成本得到進一步降低
其生產過程中采用的大規模集成電路等制造工藝,使得生產規?；?從而降低了傳感器的生產成本。
4)功能多樣化
傳感器集成化的結構可實現傳感器同時實現多種參數的測量。
