（4）惰性氣體。惰性氣體一般對潤滑油無作用，如氫、氮可使用與壓縮干空氣相同的壓縮機油。
氨氫壓縮機（36MPa）可用24號氣缸油潤滑。
對氬、氖、氮等稀有貴重氣體，往往要求氣體中絕對無水，并不帶有任何油質。因此，一般用膜式壓縮機，沒有氣缸潤滑問題。
二氧化碳及一氧化碳與礦物油有互溶性，會使油的粘度降低，如果有水，還會產生腐蝕性的碳酸。因此應保持干燥，并用更高粘度的潤滑油，以減少油氣帶出。
壓縮二氧化碳介質的潤滑油，一般用粘度不低于SAE50含添加劑的油；壓力為14MPa時，用SAE60的油。
由于二氧化碳與油混合使氣體污染，當氣體用來加工食品或不允許污染時，應用液體或乙醇肥皂作為潤滑劑。這種潤滑劑一般很少使用。因為氣缸潤滑能夠控制，污染可降低到允許的程度。
日本推薦二氧化碳壓縮機用Daphne Machanic oil65號油，該油實際質量水平相當于無級變速器油，具有好的抗高溫氧化、防銹、消泡和水分離性能。
在壓縮氨或合成氣（常含大量氨）時，一般采用離心壓縮機。系統必須保持干燥，盡可能減少油與輸送氣接觸，因為有水分存在時，氨與油的酸性氧化物作用會生成沉淀。此外，氨還會與酸性防銹劑產生不溶性皂。在壓縮和驅動設備之間，通常裝有增速器。壓縮機和增速器之間的活動聯軸器則可能受潤滑系統不溶物的影響，活動聯軸器的轉速高達10000~13000r/min，這時油中的沉淀和其他不溶物可能由于離心力的作用被甩出來，結果使聯軸器失去平衡而產生振動，并使潤滑條件變壞。為了消除這種不良后果，可在油系統中采用過濾脫水措施，或改用潤滑脂來潤滑。若將聯軸器和油系統隔開，也可達到同樣的目的。最好的辦法是選用專用的抗氨汽輪機油
